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国产DUV光刻机突破,对中美意味着什么?


2025年09月18日 
美国造不出的DUV光刻机,中国造出来了。上海初创公司“宇量昇”,实现了国产首台28纳米DUV光刻机的突破。中芯国际已经与宇量昇达成合作,成功完成了设备测试。别看它明面上是28纳米技术,实际通过多重曝光工艺,能生产7纳米,甚至5纳米芯片。宇量昇公司成立才三年,怎么就完成了中国芯片产业史诗级的突破?国产DUV光刻机一旦正式投产,对中美意味着什么?……


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