昨天翻到了一篇论文，名字叫做《稳态微聚束加速器光源》。2022年发表在了《科学时报》上，语言简洁流畅，从原理到实现方法讲得都很清楚，看完这篇论文，再来想所谓的“光刻机”，就会觉得合情合理，意料之外，又是情理之中。谁说光刻机就一定要走荷兰那条路的？谁说光刻机就一定要长成个“机床”的样子的？抛开旧窠臼，刹那天地宽。从理论上讲，某些人的猜测是对的，真正的实现路径，简单说就是把光刻机“巨大化”，用一台周长100~150米的环形加速器作为“光源”，然后带动数台甚至数十台光刻机进行工作，这不是光刻机，这是“光刻车间”、“芯片加工流水线”。论文中讲的——稳态微聚束(steady-statemicro-bunching），简称“SSMB”，用它造的光刻机，就叫“SSMB-EUV”光刻机。这个原理说得朴素一点，就是用高能加速器对电子加速，让后让它穿过交替变化的磁场（震荡腔），它会左右震荡，产生高频率、短波长的电磁波，甚至是可见光，如果把电子加速到……

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