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中国半导体设备自主,真比造原子弹还难吗?


2020年06月10日 
光刻机被荷兰人卡脖子,抛光机与离子注入设备是美国人的天下,就连中国最擅长的半导体测试封装,上游设备也被德国人所垄断。造不如买,买不如租的思路持续二十年,一直到被卡脖子断供的当口,我们才茫然反思:中国半导体设备自主,难道比造原子弹还难吗?起码在刻蚀机领域并非如此。与风口上的光刻机做个简单对比:造芯片,就是将掩膜版上的芯片线路在硅晶圆上雕刻出来。其中,光刻机是描摹图案的笔,刻蚀机是在晶圆上雕刻的刻刀。在诸多半导体设备之中,光刻机是最精密,单台造价最贵的一个;而刻蚀机则是在光刻机发展遇到瓶颈后,推动摩尔定律继续前行的主要功臣,近些年来,更是全部半导体设备中市场最大的一个。上世纪七八十年代起,这个市场就被美国应用材料、拉姆研究以及日本东京电子,垄断了80%市场。其中高端的等离子刻蚀机,更是一直到2015年都对中国实施出口控制。解除封锁背后,主要归功于……


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